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净化工程,根据洁净室的特点,我们在建设管理领域的过程中,制定相应的管理制度,并根据不同施工阶段实施,逐步加强管理,实现终的控制。当主体施工和主要维修和粗装修竣工验收时,施工,设备安装工作开始,一半分为三个阶段。根据安装和安装各阶段的特点,不同的管理和施工操作按要求进行,以控制和保证施工质量良好。根据洁净室的特点,我们在建设管理领域的过程中,制定相应的管理制度,并根据不同施工阶段实施,逐步加强管理,实现终的控制。当主体施工和主要维修和粗装修竣工验收时,施工,设备安装工作开始,一半分为三个阶段。根据安装和安装各阶段的特点,不同的管理和施工操作按要求进行,以控制和保证施工质量良好。阶段的工作内容,对施工阶段的净化控制水平一般包括:防尘涂料;
电配管、配线;空调机组安装与保护;处理间隔,墙架的顶部,骨架的连接和安装。进入洁净区的人员必须接受规范化培训,阶段施工,穿适当的标记工作服;进入洁净区的人员应穿戴清洁的工作服,鞋子要刷干净,无油脂,污泥;洁净区不得吸烟,进食和饮水;焊接清洁区,切割和钻孔等产生粉尘的处理控制,防止碎屑的传播;在一天结束的时候应清理加工工具和材料;加强现场检查,对违规者进行纠正。在施工阶段,要注意控制操作的部位,使场地可以达到清洁水平。此外,我们应督促施工现场厕所的建设,从客观条件下确保文明施工。第二阶段,高水平的污染控制,包括工作内容施工阶段:在通道口进入组件建立预清洗棚洁净区:放置鞋架,衣服柜;地板安装活动;
洁净空间的温湿度主要是根据不同客户的工艺要求来确定,我司提供自由定制洁净工程、地下室防排烟工程等,工程的大小、规格与要求都能满足广大客户的需求。在温湿度方面,在满足工艺要求的条件下,也应考虑到工作人员的舒适感。随着洁净室工程要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严格的趋势。例如在大规模集成电路生产的光刻工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数之差的要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温度数,同时要求的湿度值一般较低,这是因为当人们出汗以后,对产品将造成污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间的温度不宜超过25度,湿度过高产生的问题就越多。若相对的湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种。其次,相对湿度在50%时易生锈。
避免将工作区以外的污染带入工作区;尽量防止灰尘的二次飞扬以减少灰尘对工件的污染机会;工作区的气流要尽量均匀,且其风速要满足工艺和卫生要求,当气流向回风口流动时要使空气中的灰尘能有效的带走。根据不同的洁净度要求,选择不同的送、回风方式。要保证送风洁净度符合要求,关键是净化系统末级过滤器的性能和安装。要保证送风洁净度,仅有合格的过滤器是不够的,还要保证。净化车间工程要获得良好的洁净效果,不仅要着重采取合理的空调净化措施,而且也要求工艺、建筑及其他专业采取相应的措施:不但要有合理的设计,而且还要精心的符合规范的施工安装,以及正确的使用净化车间和科学的维护管理。为使洁净室获得良好的效果,国内外已有不少文献从不同的角度作过阐述。
净化工程中实际上,不同专业之间很难做到理想地配合,而且设计者很难把握施工安装质量以及使用和管理情况,尤其后者。就净化车间净化措施而言,许多设计者,或者还有施工方,往往对其必要条件未予足够重视,造成洁净效果不理想。本文仅就净化车间净化措施中达到洁净度要求的四个必要条件简要论述。要做到第a,则要求施工安装人员训练有素,既要有安装净化系统方面的知识,又要具备较熟练的安装技能,否则将难以保证不损坏过滤器,这方面是有深刻教训的。其次,安装严密性问题,主要取决于安装结构型式优劣,设计手册,一般:对于单个过滤器采用明装型式,这样即便发生渗漏,也不致漏到室内;采用成品送风口,严密性也比较容易得到保证。对于多个过滤器的风□,近几年常采用液槽密封和负压密封。液槽密封必须保证液槽接缝严密和整体框架都处于同一水平面上。负压密封就是使过滤器与静压箱和框架接缝的外周边处于负压状态,与明装型式一样即使渗漏也不会漏到室内。
净化系统末级过滤器一般采用过滤器或亚过滤器。这里每个净化度级别似乎都有两类过滤器可供选择,选择高性能的还是低性能的,要视具体情况而定:当环境污染严重,或室内排风比例很大,或该净化车间特别重要,需要较大系数,在这些或其中之一情况下,均要选择高一类过滤器;反之可选择较低性能过滤器。对0.1μm粒子要求控制的净化车间,不论控制的粒子浓度高低均要选择D类过滤器。以上所述仅从过滤器角度出发,实际上要选择好过滤器还要考虑净化车间特性、过滤器特性和净化系统特。净化车间工程的气流组织与一般空调房间有所不同,它要求将干净的空气首先送到操作部位,它的作用在于限制和减少对加工物的污染。为此,在设计气流组织时应考虑这些原则:尽量减少涡流。
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